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伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用,学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题,提出了一种应变因子改进算法,与实验结果比较表明该算法的科学性,为多晶硅广泛应用打下一定的理论基础。
多晶硅应变因子计算研究
【摘 要】
：
伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用,学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题,提出了一种
【机 构】
：
沈阳化工大学
【出 处】
：
电子世界
【发表日期】
：
2017年3期
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