等离子弧光源产品老化及寿命实验研究

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本文在350℃应力作用下对等离子弧光源产品进行老化实验发现光源的工作峰值的波长基本趋于450nm,并且发光强度下降很小;根据威布尔分布函数模型,推测在350℃的高温应力之下,等离子弧光源产品可以在稳定的状态下连续工作2200h。最后,对等离子弧光源产品进行6σ质量评估,6σ的设计标准为Cpkr≥1.75,Cp=2.0,偏移量ε≤1.5σ,此时6σ的质量水平仍然可以达到3.4DPMO。
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