【摘 要】
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石墨烯显著的优点是其载流子浓度极易调控.目前已经发展出很多载流子浓度调控方法,其中栅压调节是应用最广的一种手段.但是在实际应用中,栅压也有一定的局限性.例如一些设计
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,安徽合肥 230026
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石墨烯显著的优点是其载流子浓度极易调控.目前已经发展出很多载流子浓度调控方法,其中栅压调节是应用最广的一种手段.但是在实际应用中,栅压也有一定的局限性.例如一些设计电路、测试仪器并不能承受几十甚至上百伏的高压.最近出现一种电子束辐照掺杂的方式,可以局域、连续地调控石墨烯载流子浓度,但调控范围较小.这里应用硝酸掺杂结合电子束辐照的复合方式,实现了石墨烯载流子浓度的大范围、连续调控.通过分析扫描近场光学显微镜和电输运测试结果,发现此复合方式可以将石墨烯载流子浓度从2.15×1013 cm-2调控至-1.49×1012 cm-2,效果相当于常用的300 n m二氧化硅介电层320 V的栅压变化.另外,通过电子束曝光可以将石墨烯加工成预设的电子图案.这种简单、高效的复合掺杂方式有着非常广泛的应用前景.
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