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采用透射电镜和层析原子探针（APT）分析了9Cr-ODS钢中纳米氧化物颗粒成分和结构。研究发现,氧化物颗粒成分与其大小有一定的关系,可将其归纳为3类：（1）氧化物〈5nm,m（Y）∶m（Ti）〈1,可能是非整比化合物;（2）5-10 nm〈氧化物尺寸〈40nm,m（Y）∶m（Ti）≈1,可能是Y2Ti2O7;（3）氧化物〉40 nm,为TiO2。Cr在氧化物周围偏析形成壳状结构。