【摘 要】
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综述了利用超声波作化学气相沉积过程中能源的一种新工艺,即超声波化学气相沉积(UWCVD)。该工艺与其它 CVD方法相比有以下特点:沉积膜与基体有更好的结合;沉积膜有更优的强韧
【机 构】
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综述了利用超声波作化学气相沉积过程中能源的一种新工艺,即超声波化学气相沉积(UWCVD)。该工艺与其它 CVD方法相比有以下特点:沉积膜与基体有更好的结合;沉积膜有更优的强韧性和明显的择优取向。
A new process of using ultrasonic energy for chemical vapor deposition is reviewed, that is, ultrasonic chemical vapor deposition (UWCVD). The process compared with other CVD methods have the following characteristics: the deposited film and the substrate have a better combination; deposited film has better toughness and obvious preferred orientation.
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