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叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理。依据ISO发布的测量不确定度表示指南，对Fizeau型高精度移相激光平面干涉测量系统的误差进行了系统分析，给出了高精度激光平面干涉仪的各项误差及总误差，其合成标准不确定度为2.63 nm。该研究分析方法可适用于同类仪器的测量不确定度评价。
高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法
【摘 要】
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叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理。依据ISO发布的测量不确定度表示指南，对Fizeau型高精度移相激光平面干涉测量系统的误差进行了系统分析，给出了高精度激光平面干涉仪
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京100013
【出 处】
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2010年全国几何量精密测量技术学术交流会
【发表日期】
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2010年12期
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