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Veprek等[1]在TiN薄膜中加入Si形成的由非晶Si3N4分隔的纳米晶TiN薄膜(记为n-TiN/a-Si3N4),呈现出超高硬度而成为近年来超硬薄膜的研究热点之一.
Nb—Si—N混合薄膜的HRTEM观察
【摘 要】
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Veprek等[1]在TiN薄膜中加入Si形成的由非晶Si3N4分隔的纳米晶TiN薄膜(记为n-TiN/a-Si3N4),呈现出超高硬度而成为近年来超硬薄膜的研究热点之一.
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年5期
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