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砷化氢尾气处理装置设计

来源 :商品与质量 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tsy99

【摘 要】

：

砷化氢尾气处理装置主要用于掺杂、外延、离子注入、化学气相沉积和砷化稼晶体生长等工艺过程,然而由于它是一种剧毒性气体,8h工作区内空气中的最高允许含量仅为5/10-8,因此

【作 者】

：

王旭 

【出 处】

：

商品与质量

【发表日期】

：

2017年11期

【关键词】

：

砷化氢 尾气处理 氧化铜 

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砷化氢尾气处理装置主要用于掺杂、外延、离子注入、化学气相沉积和砷化稼晶体生长等工艺过程,然而由于它是一种剧毒性气体,8h工作区内空气中的最高允许含量仅为5/10-8,因此在其生产和使用过程中必须进行严格的尾气处理.本文对于砷化氢尾气处理装置设计进行了探讨,希望为以后的具体工作起到实际的参考作用.

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