【摘 要】
：
在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构
论文部分内容阅读
在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜(7.1mm×5.2mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测量。同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试。在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
其他文献
通过对某高压电机装配车间进行实测,研究了空调风量对恒温恒湿车间工作区空气温湿度均匀性的影响;并与对空调冷负荷的分析相结合,进一步明确影响室内空气湿度最重要的因素是
从毛毡材料入手,对传统羊毛毡材料进行热工性能分析。将传统蒙古包建筑厚度为18 mm毛毡的导热系数、传热系数进行数据分析处理后的平均导热系数为0.076 6 W/m·K,传热系
教育设备现代化是发展现代化教育的必然趋势。有了非线性编辑系统,线性编辑系统不能丢。本文通过对非线性与线性两种编辑系统在教学中运用的优势及不足的对比分析,说明在教学
摘要：产学研背景下，为培养学生的实践能力、创新能力，提高毕业设计质量，结合生物工程专业毕业设计现状，探讨了应用型人才培养为目标的毕业设计选题、毕业设计指导过程、指导方式、毕业设计开展形式、毕业论文撰写等方面的改革措施及方案。 关键词：产学研;生物工程;毕业设计 中图分类号：G642.0 文献标志码：A 文章编号：1674-9324（2016）41-0071-02 “产学研”是学习、
企业生产自动化程度的高低是决定企业参与国际竞争的很重要的方面。锦西天然气化工有限责任公司耙料机的控制系统仍然是八十年代的控制装置,而这些装置随着生产的扩大和自控
针对上海市典型住宅小区内风场的问题,采用计算流体动力学软件,并结合上海市近几年的气象数据,对其进行了数值模拟分析,得出了典型住宅小区内建筑群主要朝向外立面的压力分布