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文章介绍了新一代集成电路计算机辅助制造(IC-CAM)系统质量管理部分的设计.该系统的质量控制部分实现了由实测数据计算控制图的控制限,能自动判读并标识控制图中的异常点.使用该IC-CAM系统后,可以有效地提高生产工艺稳定性和产品质量.
新一代IC—CAM系统中的质量管理
【摘 要】
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文章介绍了新一代集成电路计算机辅助制造(IC-CAM)系统质量管理部分的设计.该系统的质量控制部分实现了由实测数据计算控制图的控制限,能自动判读并标识控制图中的异常点.使
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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2002年10期
【基金项目】
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国家科技攻关项目
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