一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangfuqun
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺.该陀螺包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块,通过检测质量块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度信号的检测.对陀螺进行了结构设计和分析.在陀螺芯片的制作过程中,解决了深反应离子刻蚀过程中的根部效应和滞后效应等问题.初步测试结果表明,该陀螺灵敏度和非线性度比较理想.
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
随着体育产业上升为国家战略层面,青少年体育培训市场得到快速发展,校园篮球得到大力发展,青少年篮球校外培训市场得到快速的发展,并逐渐衍生为一种现象。《供给侧改革与中国
【正】在全球环境急剧恶化的今天,"绿色环保"和"可持续发展"成了人们耳熟能详、妇孺皆知的道理,特别是人们对节约用水的认识和行动显现的尤为突出。这些道理在人们的嘴上生了
党的十九大指出中国特色社会主义进入新时代。依法治国是新时代治国理政的基本方式。拥有武装力量的人民警察的法治素养和法治思维水平是依法治国的重要体现。所以,要培养新
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
随着中尼、中印铁路引入西藏自治区路网规划,2030年拉日铁路通道功能的进一步加强及运量的快速增长,既有能力已远远不能满足日益增长的运输需求,提高线路能力迫在眉睫。通过
本文从普职融合的视角研究了高职公共基础课程的改革研究途径,结合David C.Mc Clelland的冰山模型,从知识——能力——素质三个方面对公共基础课程改革提出目标,提出了在公共
针对控制复杂、难以精确描述数学模型的复杂加工过程,提出集成遗传算法和人工神经网络的多目标优化方法。把加工工艺参数和工艺指标参数分别看作神经网络的输入和输出,建立相对
护理业务查房是护理管理中评价护理质量最基本、最主要的方法。通过查房可重点了解病人现存的护理问题、措施及效果,发现护理问题与不足,及时修正指导护理措施,以护理理论指导护
在分析虚拟装配工艺规划技术特点的基础上,提出一个实用的集成化虚拟装配工艺规划系统,介绍了虚拟装配工艺规划系统的体系结构及其基本工作流程,并对虚拟产品装配模型、装配过程