具有高击穿电压的AlN背势垒AlGaN/GaN/AlN HEMT材料

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shtduswh

【摘要】

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回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

【作者】

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王波高楠郭艳敏尹甲运张志荣袁凤坡房玉

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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氮化镓(GaN) 铝镓氮(AlGaN) 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 背势垒高电子迁移率晶体管(HEMT)

【基金项目】

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国家自然科学基金青年科学基金资助项目（61804139）;国家重点研发计划资助项目（2016YFB0400203)

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