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用氯化氙准分子激光分解Fe(CO)5在石英片上沉积铁薄膜.研究了激光能量密度、淀积时间对膜层特性的影响,获得最大淀积速率1.7nm/脉冲
激光化学气相淀积铁薄膜
【摘 要】
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用氯化氙准分子激光分解Fe(CO)5在石英片上沉积铁薄膜.研究了激光能量密度、淀积时间对膜层特性的影响,获得最大淀积速率1.7nm/脉冲
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1989年16期
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