【摘 要】
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为更好地掌握北京市电子工业挥发性有机物(VOCs)排放特征及其与其他溶剂使用行业的排放差异,为工业结构调整提供启发和建议,通过实际监测,识别电子工业有组织和无组织VOCs排
【机 构】
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北京市环境保护科学研究院,中国电子工程设计院有限公司,北京京东方光电科技有限公司
【基金项目】
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国家重点研发计划项目(No.2016YFC0201106),北京市环境保护科学研究院科技基金项目(No.2019-B-02)。
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为更好地掌握北京市电子工业挥发性有机物(VOCs)排放特征及其与其他溶剂使用行业的排放差异,为工业结构调整提供启发和建议,通过实际监测,识别电子工业有组织和无组织VOCs排放水平,采用产污系数法并结合集气效率和去除效率,核算得到2019年北京市电子工业VOCs排放量及各子行业的排放贡献,并与其他典型溶剂使用行业的VOCs排放强度进行了对比.结果表明:电子工业VOCs产生主要集中在光刻、清洗、剥离、显影等环节,使用的有机溶剂主要包括光刻胶、稀释剂、清洗剂和去除剂,分别约占3%、81%、6%和10%,其中约1
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