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针对现有的正电子分析方法无法分析材料内部缺陷的缺点，提出了一种新的正电子分析方法——光致正电子分析。利用加速器打靶产生的轫致辐射X射线照射样品，通过光子在材料内部发生的电子对效应来产生正电子，然后测量511keY湮没光子进行正电子分析。通过模拟计算定量研究了该方法用于正电子分析的灵敏度、屏蔽条件等问题；建立了一套实验系统，在该系统上成功实现了对511keV湮没光子能谱的精确测量，并在低碳钢样品的缺陷含量与测量结果之间得到了对应关系。