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本文描述了金属蒸发真空弧放电的特点，阴极弧等离子体的形成过程，以及在加热蒸发电离方式相比ＭＥＶＶＡ放电的优越性。文章还叙述了建筑的ＭＥＶＶＡ离子源的实用参数，工作过程及ＭＥＶＶＡ等离子体源在全方位离子注入装置中的应用。
MEVVA放电在材料表面改性上的应用
【摘 要】
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本文描述了金属蒸发真空弧放电的特点，阴极弧等离子体的形成过程，以及在加热蒸发电离方式相比ＭＥＶＶＡ放电的优越性。文章还叙述了建筑的ＭＥＶＶＡ离子源的实用参数，工作过程及ＭＥＶＶＡ等离子体源在全方位
【机 构】
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核工业西南物理研究院
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1996年1期
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