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本发明为一种单分散纳米氧化锌的溶胶-凝胶低温制备工艺，以锌盐、络合剂、分散剂为原料，在水溶液中发生水解和缩合反应，以酸碱来控制反应体系的起始pH，获得纳米氧化锌凝胶，经过真空干燥得氧化锌前驱体干凝胶，然后通过热处理，消除凝胶中的有机溶剂，得到氧化锌纳米粉体。本发明的纳米氧化锌适于用作短波光电器件，如紫外发射器件、紫外激光器件等，对于提高光记录密度和光信息的存取速度起到非常重要的作用。