【摘 要】
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In this paper, a purely mechanical model for the thermoelastic behavior of a bimorph microbeam is presented. The thermoelastic coupling problem of the microbeam
【机 构】
:
StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstruments
【基金项目】
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supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 91023027)
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In this paper, a purely mechanical model for the thermoelastic behavior of a bimorph microbeam is presented. The thermoelastic coupling problem of the microbeam is converted to a mechanical problem by simply replacing the thermal stress in the beam with a
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