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在激光器的各种工作参数中,真空检测及工作气压测控,是很重要的环节之一,它将直接影响激光器运转的稳定性和可靠性.而激光器工作状况的很多方面都受工作气压的控制.因此我们采用西门子PLC设计研制了一套激光器的真空智能测控系统,使得激光器的总体性能及激光的有关技术指标都得到很大的改善和提高.
激光器真空检测及工作气压控制智能化的研究
【摘 要】
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在激光器的各种工作参数中,真空检测及工作气压测控,是很重要的环节之一,它将直接影响激光器运转的稳定性和可靠性.而激光器工作状况的很多方面都受工作气压的控制.因此我们
【机 构】
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华中科技大学激光技术与工程研究院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2004年2期
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