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介绍对亚微米分步重复投影光刻机光刻工作分辨力、套刻和生产能力三项主要技术指标的设计分析，方案考虑以及采取的技术措施。测试结果表明这些考虑是必要并且有效的，它为光刻机的研制成功打下基础，也为设计下一代指标要求更高的光刻机提供有益的参考。
亚微米分步重复投影光刻机总体设计考虑的几个问题
【摘 要】
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介绍对亚微米分步重复投影光刻机光刻工作分辨力、套刻和生产能力三项主要技术指标的设计分析，方案考虑以及采取的技术措施。测试结果表明这些考虑是必要并且有效的，它为光刻机
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年01期
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