半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究

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解决带重人加工工艺的双臂组合设备的调度问题是非常困难的。如果采用交换策略调度该系统,系统将处于一个3-晶圆周期性调度过程。为改善系统的运行过程及降低生产周期,给出了基于2-晶圆周期性调度方法的调度算法。该篦法由解析表达式组成。因此执行非常有效。通过对比3-晶圆和2-晶阒调度方法,可有效的判断两种调度方法的优劣。最后,实例验证该方法的可应用性。
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