基于正交试验评价退火工艺对P-ITO薄膜光电性能的影响

来源 :科技经济导刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zmmzoo

【摘要】

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【作者】

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刘飞张浩朱昊房伟华王效坤孟雷朴祥秀

【出处】

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科技经济导刊

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

P-ITO薄膜方块电阻退火处理透过率磁控溅射

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