【摘 要】
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提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的Pd作为氢敏感膜.Pd膜吸氢以后发生化学反应,生成的PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产
【机 构】
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浙江大学国家现代光学仪器重点实验室
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提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的Pd作为氢敏感膜.Pd膜吸氢以后发生化学反应,生成的PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子共振.利用Fortran语言程序进行了表面等离子共振氢敏传感器的Pd膜厚度和传感器灵敏度数值模拟.氢气浓度的变化引起折射率的变化,数值模拟表明,表面等离子共振氢敏传感器的灵敏度与Pd膜厚度有关,当Pd膜的厚度在10-30nm时,氢气浓度在1%-10%范围内具有较高的灵敏度.这种
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