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氮化硅薄膜的制备过程是太阳能电池制造中的一个核心环节,我公司使用的Centrotherm厂家的管式PECVD设备及R&R厂家的链式PECVD设备更是代表了两种最先进的氮化硅薄膜制备技术,本文简要介绍了SiNx薄膜的特性、制备的技术特点及工艺参数的调整等相关知识。
氮化硅薄膜制备技术及工艺参数调整
【摘 要】
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氮化硅薄膜的制备过程是太阳能电池制造中的一个核心环节,我公司使用的Centrotherm厂家的管式PECVD设备及R&R厂家的链式PECVD设备更是代表了两种最先进的氮化硅薄膜制备技术,
【机 构】
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英利能源（中国）有限公司
【出 处】
：
价值工程
【发表日期】
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2012年15期
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