【摘 要】
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本文介绍了间隙测量的原理、试验装置、方法及结果,并对反射式光电显微镜进行分离间隙测定的方法进行了分析比较,认为不论从理论上还是在实验中,该方法用于一般光刻中的间隙
【机 构】
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福建省光学技术研究所,上海光学仪器研究所,上海光学仪器研究所,
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本文介绍了间隙测量的原理、试验装置、方法及结果,并对反射式光电显微镜进行分离间隙测定的方法进行了分析比较,认为不论从理论上还是在实验中,该方法用于一般光刻中的间隙测量是可行的。
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