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介绍了以测微导轨、微调平台、显微物镜、电感测微仪和微机为主要组成部分的线阵ＣＣＤ光敏面不平度测量装置的工作原理，详细论述了微机接口电路的设计及实现方法。
线阵CCD光敏面不平度测量装置设计与电路实现
【摘 要】
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介绍了以测微导轨、微调平台、显微物镜、电感测微仪和微机为主要组成部分的线阵ＣＣＤ光敏面不平度测量装置的工作原理，详细论述了微机接口电路的设计及实现方法。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年3期
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