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在分析几种典型的压电微动装置的基础上，提出并研制了一种推挽式微动技术及装置。这种微动装置由两个压电驱动元件和三个永磁箝位体组成，其最小移动步长可达２００ｎｍ，速度１００步／秒，行程５ｍｍ以上。目前已用于自制的ＳＴＭ中。
用于STM中样品与探针逼近的压电微动技术
【摘 要】
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在分析几种典型的压电微动装置的基础上，提出并研制了一种推挽式微动技术及装置。这种微动装置由两个压电驱动元件和三个永磁箝位体组成，其最小移动步长可达２００ｎｍ，速度１００步／秒，行程５ｍｍ以上。
【机 构】
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中国科学院化学研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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