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采用直流磁控溅射法在铜箔上制备具有面心立方晶型(fcc)的γ-氮化钼(γ-Mo2N)薄膜电极。通过XRD、SEM、透射电子显微镜及恒流充放电等测试,分析氩气(Ar)与氮气(N2)体积比对Mo2N薄膜电极形貌及电化学储锂性能的影响。当Ar∶N2的体积比为4∶1时,制备的Mo2N薄膜电极(记为Mo2N-4)具有最佳的电化学储锂性能,在1000μA/cm^2下仍有87μAh/cm^2的可逆容量密度。这归因于Mo2N-4薄膜电极的多孔的纳米柱阵列形貌有利于电解液的扩散及离子的迁移。