【摘 要】
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燃煤超细颗粒物属于不导电粉体材料,拍摄过程中会产生不同程度的荷电现象,影响样品的形貌表征以及图像质量.为获得高质量的燃煤超细颗粒物的SEM图像,借助蔡司Sigma300场发射扫描电子显微镜,探讨探测器、加速电压、工作距离、光阑大小等对场发射扫描电子显微镜图像的影响.研究分析表明,InLens探测器适用于高倍成像及观察样品表面细节,但是不足之处是拍摄的图像立体感较差,容易受荷电效应影响;SE2探测器对样品表面形貌非常敏感,景深大,立体感强,特别适用于粗糙颗粒的观察研究;当燃煤超细颗粒物样品放电严重或者需要大
【机 构】
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华中科技大学 煤燃烧国家重点实验室,湖北 武汉 430074
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燃煤超细颗粒物属于不导电粉体材料,拍摄过程中会产生不同程度的荷电现象,影响样品的形貌表征以及图像质量.为获得高质量的燃煤超细颗粒物的SEM图像,借助蔡司Sigma300场发射扫描电子显微镜,探讨探测器、加速电压、工作距离、光阑大小等对场发射扫描电子显微镜图像的影响.研究分析表明,InLens探测器适用于高倍成像及观察样品表面细节,但是不足之处是拍摄的图像立体感较差,容易受荷电效应影响;SE2探测器对样品表面形貌非常敏感,景深大,立体感强,特别适用于粗糙颗粒的观察研究;当燃煤超细颗粒物样品放电严重或者需要大景深、强立体感时可选用SE2探测器,工作距离WD=5?mm,电压3?kV左右,光阑30?μm的参数条件下进行拍摄;当需要高倍成像及观察样品表面细节时可选用InLens探测器,工作距离WD=3.2?mm,电压2?kV,光阑30?μm的参数条件下进行拍摄.
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