【摘 要】
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对金属 -铁电体 -半导体场效应晶体管器件而言 ,具有六方晶系结构的稀土锰酸盐 ( Re Mn O3)是性能优良的薄膜材料 ,它们的介电常数低 ,仅仅只有单一的极化轴 ,没有挥发性的元
【机 构】
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对金属 -铁电体 -半导体场效应晶体管器件而言 ,具有六方晶系结构的稀土锰酸盐 ( Re Mn O3)是性能优良的薄膜材料 ,它们的介电常数低 ,仅仅只有单一的极化轴 ,没有挥发性的元素 Pb、Bi等。本文作者对 Re Mn O3材料的结构特征、制备方法及其铁电性能等进行了介绍 ,并指出存在的困难及其发展方向。
For metal-ferroelectric-semiconductor field-effect transistor devices, Re Mn O 3 having a hexagonal structure is a high-performance thin film material having a low dielectric constant and only a single polarization Axis, no volatile elements Pb, Bi and so on. The author introduced the structural characteristics, preparation methods and ferroelectric properties of Re Mn O3 material, and pointed out the existing difficulties and their development direction.
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