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本文介绍了一种用硅橡胶做模具、光照固化光敏胶的微光学元件复制技术.利用这种方法成功地复制了各种单元尺寸的微光学元件.获得复制精度高、表面粗糙度低、光学性能良好的元件.并可批量生产,降低生产成本.
微光学元件复制技术研究
【摘 要】
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本文介绍了一种用硅橡胶做模具、光照固化光敏胶的微光学元件复制技术.利用这种方法成功地复制了各种单元尺寸的微光学元件.获得复制精度高、表面粗糙度低、光学性能良好的元
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2002年1期
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