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极端工况对关键部件涂层的性能要求较高，作为常用涂层，薄类金刚石（Diamond-like carbon，DLC）膜因其厚度的局限性已不能满足日益增长的性能需求，因此超厚DLC膜的制备工艺具有较大的现实意义。采用双弯管磁过滤阴极真空弧沉积技术制备多层Ti掺杂DLC膜，并通过显微维氏硬度计、摩擦磨损试验仪、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、能谱仪（EDS）、透射电子显微镜（TEM）、X光电子能谱仪（XPS）、X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱仪（Raman）等对膜的结构和性能进行表征。结果表明：薄膜的沉积速率