【摘 要】
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针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的
【机 构】
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哈尔滨工程大学水声技术重点实验室,哈尔滨工程大学水声工程学院
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针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的刚硬球体的声致振动响应;然后进行硅微电容加速度计选型和参数分析、设定,并设计制作了一只二维球形矢量传感器样机;最后对样机进行了参数测试,结果表明两矢量通道均具有良好的方向性,声压灵敏度分别为？185 d B和-186 d B（1 k Hz,0 d B ref 1 V/μPa）,通道间相位差与理论值保持一致,验证了利用MEMS电容加速度计设计矢
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