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设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真，揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系；基于同步辐射光源及LIGA技术，以金属镍（Ni）为基底材料，微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾角60的微开关器件；利用光热驱动控制与显微视频监控系统，进行了光热驱动及偏转量检测实验。实验结果表明，在波长808nm、功率135mW的半导体激光控制下，可产生约20μm的最大光热偏转量，从而验证了这一金属材料光热驱动微开关的可行性；同时，为设计制作基于金属材料的其他微型