【摘 要】
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介绍研制的１５ｃｍ双潘宁离子源等离子体产生器的结构和工作原理，研究了磁场、气压和弧功率等运行参数对源特性的影响，最后结合朗缪尔探针测量结果进行了讨论。该产生器的探针饱和离子
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介绍研制的１５ｃｍ双潘宁离子源等离子体产生器的结构和工作原理，研究了磁场、气压和弧功率等运行参数对源特性的影响，最后结合朗缪尔探针测量结果进行了讨论。该产生器的探针饱和离子流密度已达到２００ｍＡ／ｃｍ２以上，引出面附近的离子密度径向不均匀度＜±５％，噪声水平＜±１０％。
The structure and working principle of a 15cm dual Penning ion source plasma generator are introduced. The influence of operating parameters such as magnetic field, pressure and arc power on the source characteristics is studied. Finally, the measurement results of the Langmuir probe are discussed. The generator has a probe saturation ion current density of 200mA / cm2 or more, ion density radial unevenness near the lead plane is less than ± 5%, and noise level is less than ± 10%.
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