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本文选择非极性溶剂AcAc在大气中保护金属醇盐制备钛锆酸铅(PZT)铁电体薄膜,当PZT〈0.5mol/L时可生成稳定溶胶,PZT能均匀分散在溶剂中,在400℃除去残余有机物,然后在400 ̄700℃使薄膜晶化生成钙钛矿结构为主的多晶薄膜。本文利用XRD、TEM、IR及热分析技术对PZT薄膜的形成及晶化等变化进行了分析和探讨。