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本文详细地介绍了在高真空射频溅射镀膜机上制备超导铌膜的方法.由于采用了衬底加热、长时间预溅射、扩散泵口加液氮冷阱、提纯氩气等方法,制出的厚铌膜T_c为9.1K,接近大块铌材的T_c值.不加任何保护的铌膜可长时间放置在大气中,性能基本不变.
用射频溅射设备制备超导铌膜
【摘 要】
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本文详细地介绍了在高真空射频溅射镀膜机上制备超导铌膜的方法.由于采用了衬底加热、长时间预溅射、扩散泵口加液氮冷阱、提纯氩气等方法,制出的厚铌膜T_c为9.1K,接近大块铌
【机 构】
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中国科学院物理研究所; 长春地质学院; 长春地质学院;
【出 处】
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低温物理
【发表日期】
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1982年02期
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