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用于金属膜电阻器的超超低阻靶材的研制
用于金属膜电阻器的超超低阻靶材的研制
来源 :浙江冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiexinhai
【摘 要】
:
介绍超超低阻靶材(ρ〈0.05Ω.mm^2/m)的制造工艺及其性能,使用该靶材,不仅能提高金属薄膜电阻的生产效率和产品性能,而且对环境基本不污染。
【作 者】
:
钟宇
【机 构】
:
浙江省冶金研究院
【出 处】
:
浙江冶金
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
金属膜电阻器
超超低阻靶材
研制
生产工艺
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介绍超超低阻靶材(ρ〈0.05Ω.mm^2/m)的制造工艺及其性能,使用该靶材,不仅能提高金属薄膜电阻的生产效率和产品性能,而且对环境基本不污染。
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