用于金属膜电阻器的超超低阻靶材的研制

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介绍超超低阻靶材(ρ〈0.05Ω.mm^2/m)的制造工艺及其性能,使用该靶材,不仅能提高金属薄膜电阻的生产效率和产品性能,而且对环境基本不污染。
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