【摘 要】
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在半导体材料中，金属薄膜尺寸缩小会使通电时的电流密度升高而导致材料焦耳热迅速增加，从而影响金属薄膜表面结构。针对纯铝薄膜进行了高温加热试验，模拟实际运行中的温度影响，并
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在半导体材料中，金属薄膜尺寸缩小会使通电时的电流密度升高而导致材料焦耳热迅速增加，从而影响金属薄膜表面结构。针对纯铝薄膜进行了高温加热试验，模拟实际运行中的温度影响，并分析了影响机理。试验结果表明随着加热温度和加热时间的增加会使铝膜表面原子迁移能力增强，单位时间内原子积聚数量增加，从而导致小丘数量和体积增大。
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