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介绍了一种无碎屑，高亮度，高工作频率的气体靶激光等离子体软X－射线源，其喷气阀门由压电陶瓷驱动，工作频率可达到400Hz，与金属靶激光等离子体软X－射线源相比，此光源无碎屑，与喷嘴由电磁阀控制的气体靶激光离子体软X－射线源相比，它有较高的工作频率。一工作在模拟模式的通道电子倍增器被用探测来自源的软X－射线辐射，其输出信号经过一电荷灵敏前置放大器进一步放大变成电压脉冲信号，脉冲幅度与输入电荷灵敏前置放大器的电量成正比。实验测得CO2，Xe和Kr在8－22nm软X－射线投影光刻常用波段的光谱辐射特征，CO2光