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设计了一套极紫外光刻光源系统的光束准直系统，用于满足极紫外光刻光源系统对光束指向稳定性的需求，保证极紫外光的转换效率。准直系统由两部分组成，光束抖动检测模块和光束准直模块，通过分析光束抖动机理、光束控制原理，基于虚拟仪器开发软件LabVIEW，搭建了一套检测加控制的闭环准直系统。实验结果表明：光束经过准直系统后，水平方向抖动幅度小于2 μm，垂直方向抖动幅度小于4 μm，指向稳定性低于6 μrad，满足光源系统对光束指向稳定性的要求。