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提出了一种新颖、高精度和高性价比单颗粒发生器的新方法,实验显示该方法可以得到定位精度1mm,最小2μm的标准颗粒,并且可以随意控制标准颗粒的大小尺寸.
高精度单颗粒发生器
【摘 要】
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提出了一种新颖、高精度和高性价比单颗粒发生器的新方法,实验显示该方法可以得到定位精度1mm,最小2μm的标准颗粒,并且可以随意控制标准颗粒的大小尺寸.
【机 构】
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上海理工大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2006年z2期
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