【摘 要】
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铟锡氧化物(ITO)薄膜是一种光电性能优良的二元透明导电氧化物(TCO)薄膜,随着其在应用领域的不断拓展,其各项性能需要进一步提升。向ITO薄膜中掺入高价金属元素是一种有效的
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第725研究所,
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铟锡氧化物(ITO)薄膜是一种光电性能优良的二元透明导电氧化物(TCO)薄膜,随着其在应用领域的不断拓展,其各项性能需要进一步提升。向ITO薄膜中掺入高价金属元素是一种有效的改性方法,该方法已经逐步成为研究热点。
Indium tin oxide (ITO) thin film is a kind of binary transparent conductive oxide (TCO) film with excellent photoelectric properties. As its application in the field of continuous expansion, its performance needs to be further improved. The incorporation of high-valent metal elements into ITO thin films is an effective modification method, and the method has gradually become a research hotspot.
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