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本文分析了硅功率管管芯背面金属处理的结构设计原则,介绍了用多层金焊薄膜(Au/Ni/Cr)作为新的金属化处理方案及实际使用效果,以有助于国产管芯背面处理方案的改进
硅功率管芯片背面金属化结构研究
【摘 要】
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本文分析了硅功率管管芯背面金属处理的结构设计原则,介绍了用多层金焊薄膜(Au/Ni/Cr)作为新的金属化处理方案及实际使用效果,以有助于国产管芯背面处理方案的改进
【机 构】
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上海交通大学材料科学系,上海交通大学材料科学系,上海无线电七厂
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1991年01期
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