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期刊论文
国外半导体制造设备市场
国外半导体制造设备市场
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:crystal_zirui
【摘 要】
:
概述了国外半导体制造设备市场现状、市场总规模变化、分类设备市场,探讨了半导体制造设备市场的发展趋势.
【作 者】
:
童志义
葛劢冲
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2005年12期
【关键词】
:
半导体制造设备
技术现状
设备市场
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概述了国外半导体制造设备市场现状、市场总规模变化、分类设备市场,探讨了半导体制造设备市场的发展趋势.
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