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利用蒙特卡罗方法模拟Fe原子在Al基底上的沉积、扩散,以及Fe的团簇形貌的生长演化。研究了薄膜生长条件对Fe薄膜的分形形貌及磁特性的影响。模拟结果表明,随着温度的升高,Fe微观形貌经历了一个从分散成长、分形成长到凝聚成长的变化过程;而Fe薄膜的形貌极大地影响薄膜的磁特性,具有更紧凑的分形形貌的Fe薄膜具有更高的居里温度。