论文部分内容阅读
本文简要介绍了Si3N4薄膜的制备方法,详细介绍了低压化学气相淀积(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)LPCVD制备氮化硅的工艺。并对工艺的结果进行了适当的分析,为LPCVD制备高质量的Si3N4薄膜奠定了基础。
LPCVD制备Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜工艺研究
【摘 要】
：
本文简要介绍了Si3N4薄膜的制备方法,详细介绍了低压化学气相淀积(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)LPCVD制备氮化硅的工艺。并对工艺的结果进行了适当的分析,为LPCV
【机 构】
：
江阴新顺微电子有限公司
【出 处】
：
电子制作
【发表日期】
：
2013年2X期
其他文献
为配合大专，职高学生备战“大学生电子设计大赛”，我们特邀请北京信息职业技术学院电子工程系万冬教师为我们撰写了适合大专、职高学生的设计，制作实践性环节讲座连载，其讲解针对
项目信息管理是项目管理过程的重要环节,尤其是现代工程项目管理是一个纷繁复杂的系统工程。并且,随着工程项目的进展,相关的信息量也将极快的增加,使得在工程项目管理过程中
这次竞赛我们选择了F题“电动车跷跷板”，并且获得了湖南省一等奖、全国二等奖的好成绩。谨以此文总结我们小组辛苦而又充实的两个月备战培训经历。失败的原因多种多样，但成功
使用单面敷铜板只能制作一些相对简单的电路，有必要了解双面电路板的业余制作的工艺流程。在制作双面电路板时需要准备的工具及材料大致有：双面敷铜板、热转印纸、砂纸、剪刀、
Linear推出电流模式PWM降压型DC／DC转换器LT3503，该器件具有内部1．45A电源开关，采用纤巧6引线2mm×3mmDFN封装。其3．6V至20V的宽输入电压范围使LT3503非常适用于调节不同种类
会计信息指的是企业的会计部门以财务报表、报告或者其他的附注形式向企业的债权人、投资者或者其他的利益相关者报告企业的财务状况以及经营的成果。所以,企业的会计信息的
真空表是检测诊断电喷发动机故障的重要工具,在故障机理分析中具有独特的优势。本文介绍了真空表在检测电喷发动机故障中的应用,并结合维修实例进行了分析,以供汽修人员参考