高温超导GdBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜测辐射热型红外探测器研究

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用高TcGdBa2Cu3O7-δ薄膜设计并研制了单元及2×2阵列型红外探测器。其中2×2阵列型器件的四个单元探测器的Tc值及R-T特性相差≤3%。使用500K黑体及He-Ne激光作为辐照源。单元及阵列器件最好的结果为噪声等效功率NEP(500,10,1)分别为3.6×10-12和4.1×10-12W/Hz1/2,归一化探测率分别为1.6×1010和1.2×1010cmHz1/2/W;响应率分别为8.2×104和7.2×104V/W。 High TcGdBa2Cu3O7-δ film design and development of the unit and 2 × 2 array type infrared detector. The difference between the Tc value and the R-T characteristic of four unit detectors of 2 × 2 array devices is less than or equal to 3%. 500K blackbody and He-Ne laser were used as the irradiation source. The best result for the cell and the array device is that the noise equivalent power NEP (500,10,1) is 3.6 × 10-12 and 4.1 × 10-12W / Hz1 / 2 respectively, and the normalized detection rates are 1.6 × 1010 and 1.2 × 1010cmHz1 / 2 / W; response rates were 8.2 × 104 and 7.2 × 104V / W, respectively.
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