2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 管式PECVD射频功率对氮化硅薄膜性能的影响

管式PECVD射频功率对氮化硅薄膜性能的影响

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：anan0508

【作 者】

：

任现坤 马玉英 张黎明 刘鹏 姜言森 程亮 徐振华 贾河顺 张春 

【出 处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2012年12期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

不同研究尺度下径向流相对渗透率曲线的反演

学位

WLAN认证客户端的设计与实现

学位

支持字符串近似查询的索引关键技术的研究

学位

烟草公司烟草专卖业务管理系统的设计与研究

学位

数字出版系统中模板化功能的研究及实现

学位

东莞市公安刑事案件信息管理系统的分析与设计

学位

AtomicdecompositionofBesov-typeandTriebel-Lizorkin-typespaces

期刊

工会组织建设统计管理系统的设计与实现

学位

供受者HLA相合率对肾移植近期效果的影响

期刊

宁波职业技术学院仪器设备管理信息系统的分析与设计

学位