薄铜靶的制备及其厚度测量

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一、引言联邦德国重离子研究所的物理实验需要一系列薄铜靶,其要求是:(1)厚度为2、4、8、15、30、100 μm/cm~2;(2)靶的大小为φ15 mm;(3)靶的均匀性好于9%;(4)厚度测量精度为10%(>30 μg/cm~2的靶)和20%(<30 μg/cm~2的靶)。 I. INTRODUCTION The physical experiments of the Federal Institute for Heavy Ion Physics require a series of thin copper targets whose requirements are: (1) a thickness of 2, 4, 8, 15, 30, 100 μm / cm 2; (2) (3) Target uniformity is better than 9%; (4) Targets with thickness measurement accuracy of 10% (> 30 μg / cm 2) and targets with 20% (<30 μg / cm 2 ).
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